規劃無塵室從何開始？本文涵蓋 ISO 14644 等級標準、氣流設計原則、壓差控制及半導體/製藥/醫療等產業需求，新建或改建必讀的設計指南！
無塵室設計規範與等級標準完整解析
無塵室等級標準概述
無塵室（Cleanroom）是一種能夠控制空氣中微粒濃度的特殊環境。根據 ISO 14644-1:2015 國際標準，無塵室依據空氣中微粒濃度分為 ISO Class 1 至 ISO Class 9 共九個等級。
ISO 14644-1 等級標準
| ISO 等級 | ≥0.1μm | ≥0.3μm | ≥0.5μm | ≥1.0μm | ≥5.0μm |
|---|---|---|---|---|---|
| Class 1 | 10 | 2 | - | - | - |
| Class 5 | 100,000 | 23,700 | 3,520 | 832 | 29 |
| Class 7 | - | - | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
| Class 8 | - | - | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
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單位：每立方公尺微粒數量
無塵室設計要素
氣流設計
無塵室氣流設計主要分為兩種類型：
- 單向流（層流）：空氣以均勻速度單一方向流動，適用於 ISO Class 5 以上
- 非單向流（亂流）：空氣以多方向混合流動，適用於 ISO Class 6 以下
壓差控制
- 無塵室與外部環境維持 正壓差 10-15 Pa
- 不同潔淨等級區域間維持 5-10 Pa 壓差梯度
- 負壓隔離區域需維持 負壓 -15 Pa 以上
無塵室建材選擇
| 部位 | 建議材料 | 特性要求 |
|---|---|---|
| 牆面 | 彩鋼板、環氧塗裝 | 平滑、不發塵、易清潔 |
| 地板 | 環氧樹脂、PVC | 抗靜電、耐磨、無接縫 |
| 天花板 | 彩鋼板、鋁合金 | 平整、密封、可安裝 HEPA |
| 門窗 | 不鏽鋼、鋁合金 | 密封性佳、自動關閉 |
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空調系統設計
無塵室空調系統需考慮：
- 換氣次數：ISO Class 5 需 300-500 次/小時
- 溫濕度控制：溫度 22±2°C，相對濕度 45±5%
- 新風比例：一般為 10-30%
- 過濾系統：初效、中效、高效三級過濾
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