資料來源：拓生科技整理
### As-Built 測試重點 在 As-Built 階段，測試的核心是**確認潔淨室「本體」的性能**。重點項目包括： 1. **濾網洩漏測試**：這是確保空氣過濾系統完整性的第一道防線。使用 PAO (Poly-Alpha-Olefin) 產生氣膠，在濾網上游施放，並在下游用光度計檢測是否有洩漏，確保所有進入潔淨室的空氣都經過有效過濾。 2. **風速與風量測試**：測量送風口的風速與總風量，計算出換氣次數 (Air Change Rate)，確保其符合設計要求，能有效稀釋並排除室內產生的污染物。 3. **壓差測試**：確認潔淨室與相鄰區域（如更衣室、走道）之間的壓力梯度，確保氣流方向是由高潔淨度區域流向低潔淨度區域，防止外部污染空氣滲入。 ### At-Rest 測試重點 當生產設備進駐後，At-Rest 測試的重點轉移至**評估「設施與設備整合」後的性能**。除了重複 As-Built 的部分關鍵測試（如微粒子計數、壓差）外，此階段的獨特重點是： 1. **氣流可視化 (煙霧測試)**：在設備周圍施放無害的煙霧，觀察氣流是否能順利地將潛在的微粒子帶離工作區域，並檢查是否存在因設備阻擋而產生的氣流死角或渦流。這對於關鍵製程區域的污染控制至關重要。 2. **懸浮微粒子計數 (設備影響評估)**：在設備周圍及關鍵工作點進行微粒子計數，評估設備本身在待機狀態下是否成為污染源，並確認整體環境是否仍能維持在目標潔淨度等級。 ## 第三章：為何不能跳過任何一個階段？ 有些管理者為了節省時間或成本，可能會考慮是否能省略 As-Built 或 At-Rest 其中一個階段的測試。然而，這兩個階段各有其不可替代的重要性，跳過任何一個都可能導致未來生產的巨大風險。 ### 跳過 As-Built 的風險 如果直接進行 At-Rest 測試，一旦發現微粒子計數超標，將難以判斷問題的根源。是潔淨室本身的施工瑕疵（如濾網洩漏、壓差不足），還是新安裝的設備所造成的污染？缺乏 As-Built 的基準數據，將導致問題排查變得複雜且耗時，甚至可能需要將所有設備移出，回到原點進行檢測，造成更大的成本浪費。 ### 跳過 At-Rest 的風險 如果在 As-Built 測試合格後，直接進入 Operational 狀態，將無法預知生產設備對環境的影響。某些設備在待機時可能就會產生微量金屬屑或化學氣體，這些污染在沒有人員干擾的 At-Rest 狀態下更容易被偵測到。若等到生產開始、人員進入後才發現問題，不僅污染源更難追溯，還可能已經對首批產品的良率造成了不可逆的損害。 因此，As-Built 與 At-Rest 測試是一個循序漸進、層層把關的過程。As-Built 確保了「房子」是乾淨的，而 At-Rest 則確保「家具」放進去後，房子依然乾淨。唯有如此，才能為最終的 Operational 狀態打下堅實的基礎。 ## 結論：建立穩固的潔淨室品質基石 潔淨室的初始驗證是確保其長期穩定運行的第一步，也是最關鍵的一步。As-Built（完工）與 At-Rest（靜態）測試，分別從「設施本體」和「設施與設備整合」兩個層面，系統性地評估了潔淨室的性能。理解並確實執行這兩個階段的驗證，不僅是符合 ISO 14644 等國際規範的要求，更是對產品質量與製程穩定性的根本保障。 拓生科技作為 TAF 認證的 ISO 17025 校正實驗室（編號 4066），擁有豐富的[無塵室第三方驗證服務](https://3rdpartytests.com/knowledge/cleanroom-third-party-verification-service)經驗。我們的專業團隊能為您提供從 As-Built、At-Rest 到 Operational 的完整驗證方案，並協助您建立符合法規的環境監控計畫。無論您是正在規劃新的潔淨室，或是需要對現有設施進行再確效，我們都能提供最專業的技術支持。 想為您的潔淨室建立最穩固的品質基石嗎？立即前往我們的[線上估價](https://3rdpartytests.com/quotation)頁面，或直接[聯絡我們](https://3rdpartytests.com/contact)的專家團隊進行諮詢。也歡迎參訪[拓生科技官網](https://www.toson.com.tw/)，了解更多我們的服務內容。 --- **作者：拓生科技技術團隊**
