本文深入解析HEPA/ULPA過濾器洩漏測試的原理、ISO 14644-3規範及PAO測試方法。從DOP到PAO的演進，到氣溶膠光度計的詳細操作流程與洩漏判定標準，我們提供完整指南，協助您確保無塵室的潔淨度與產品品質，符合最嚴格的產業標準。